Вакуумная пластина из оксида алюминия

Вакуумный патрон из оксида алюминия (Al₂O₃ Vacuum Chuck)

Введение

Вакуумный зажим из оксида алюминия — это высокоточное вакуумное зажимное приспособление, изготовленное из керамики на основе оксида алюминия высокой чистоты (Al₂O₃). Он использует однородную пористую структуру или микровакуумные каналы для создания стабильного отрицательного давления, надежно удерживая тонкие, хрупкие заготовки, такие как пластины, стекло и пленки, без механических напряжений.

Основные материалы и свойства

• Материал: Сверхчистая керамика Al₂O₃ (99%) (пористая или плотная)

• Механические свойства: высокая твердость, устойчивость к царапинам, низкая деформация, превосходная жесткость.

• Тепловые характеристики: высокая термостойкость, хорошая теплопроводность, стабильность в высокотемпературных процессах.

• Химические свойства: Выдающаяся коррозионная стойкость, электрическая изоляция, отсутствие загрязнений.

• Структурные характеристики: равномерная пористость обеспечивает равномерное распределение вакуума по всей поверхности.

Основные характеристики

• Работает как в атмосферных условиях, так и в условиях высокого вакуума.

• Адсорбирует проводники, полупроводники, изоляторы и пористые материалы.

• Равномерная сила адсорбции, отсутствие деформации или локальных напряжений на тонких заготовках.

• Быстрое включение/выключение, отсутствие остаточного потенциала, предотвращает притягивание пыли.

• Высокая плоскостность поверхности, подходит для сверхточной обработки.

Основные области применения

• Полупроводниковая промышленность: литография пластин, травление, полировка и тестирование.

• Дисплей: Работа с большими/сверхтонкими стеклянными подложками

• Фотовольтаика: резка и тестирование кремниевых пластин

• Высокоточная оптика: обработка линз и оптических компонентов.

Типы продукции

• Пористый алюминиевый зажим: микропористая структура для мягкой и равномерной адсорбции.

• Зажим из черного оксида алюминия: уменьшает отражение света при фотолитографии

• Патрон из плотного оксида алюминия: высокая жесткость для высокоточной фиксации в тяжелых условиях.

Исинская компания Shenxing Technology Co., Ltd.

Телефон/WeChat/WhatsApp: 008618018373518

Электронная почта: yxshenxing88@vip.163.com

Команды: Siri Shenxing Ceramic